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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
| No. |
所蔵館 |
配架場所 |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
帯出区分 |
状態 |
所蔵棚番号 |
AJ区分
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取込区分
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| 1 |
中央 | 書庫資料 | 1018003044 | 図書 | 549.9//2004 | | 在庫 | | 一般書(A) | |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトルコード |
1000010695487 |
| 書誌種別 |
図書 |
| 書名 |
はじめての半導体ナノプロセス (ビギナーズブックス) |
| 書名ヨミ |
ハジメテ ノ ハンドウタイ ナノプロセス |
| 叢書名 |
ビギナーズブックス
|
| 著者名 |
前田 和夫/著
|
| 出版者 |
工業調査会
|
| 出版年月 |
2004.2 |
| ページ |
239p |
| 大きさ |
21cm |
| ISBN |
4-7693-1225-3 |
| 分類記号 |
549.8
|
| 内容紹介 |
ナノテクノロジー時代の半導体プロセス技術について、これまでの技術の流れからどのような変革が行われようとしているかを具体的に解説。半導体デバイス、実装技術、測定・評価技術などの重要テーマの動向についてもふれる。 |
目次
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