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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
| No. |
所蔵館 |
配架場所 |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
帯出区分 |
状態 |
所蔵棚番号 |
AJ区分
|
取込区分
|
| 1 |
中央 | 2F技術産業 | 1021881840 | 図書 | 530// | | 在庫 | 2F_R16B | 一般書(A) | |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトルコード |
1000012266428 |
| 書誌種別 |
図書 |
| 書名 |
はじめてのMEMS |
| 書名ヨミ |
ハジメテ ノ メムス |
| 著者名 |
江刺 正喜/著
|
| 出版者 |
森北出版
|
| 出版年月 |
2011.3 |
| ページ |
230p |
| 大きさ |
21cm |
| ISBN |
4-627-78491-8 |
| 分類記号 |
530
|
| 内容紹介 |
最先端技術MEMS(微小電気機械システム)の世界的権威である著者が、半導体技術に異分野技術を取り込んだMEMSの基礎から製作、要素、応用までをわかりやすく解説する。 |
目次
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