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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
| No. |
所蔵館 |
配架場所 |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
帯出区分 |
状態 |
所蔵棚番号 |
AJ区分
|
取込区分
|
| 1 |
中央 | 2F技術産業 | 1022040198 | 図書 | 549.9// | | 在庫 | R33B,R41 | 一般書(A) | |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトルコード |
1000012338590 |
| 書誌種別 |
図書 |
| 書名 |
はじめての半導体製造装置 (現場の即戦力) |
| 書名ヨミ |
ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ |
| 叢書名 |
現場の即戦力
|
| 著者名 |
前田 和夫/著
|
| 出版者 |
技術評論社
|
| 出版年月 |
2011.8 |
| ページ |
11,249p |
| 大きさ |
21cm |
| ISBN |
4-7741-4750-5 |
| 分類記号 |
549.8
|
| 著者紹介 |
横浜国立大学工学部化学工学科卒業。工学博士。(株)半導体プロセス研究所設立。米国SEMI(半導体装置材料協会)よりSEMMY賞授与。2008年逝去。 |
| 内容紹介 |
半導体デバイスの製造工程との関わりから、技術史、種類と役割、構成と方式、各装置の概要まで、半導体製造装置に関わる知識を解説。半導体製造装置技術のロードマップ、21世紀の半導体製造装置なども紹介する。 |
目次
内容細目
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