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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
| No. |
所蔵館 |
配架場所 |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
帯出区分 |
状態 |
所蔵棚番号 |
AJ区分
|
取込区分
|
| 1 |
中央 | 2F技術産業 | 1024480145 | 図書 | 530// | | 在庫 | 2F_R16B | 一般書(A) | |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトルコード |
1000014120366 |
| 書誌種別 |
図書 |
| 書名 |
これからのMEMS |
| 書名ヨミ |
コレカラ ノ メムス |
| 副書名 |
LSIとの融合 |
| 副書名ヨミ |
エルエスアイ トノ ユウゴウ |
| 著者名 |
江刺 正喜/共著
小野 崇人/共著
|
| 著者名ヨミ |
|
| 出版者 |
森北出版
|
| 出版年月 |
2016.6 |
| ページ |
5,151p |
| 大きさ |
22cm |
| ISBN |
4-627-77551-0 |
| 分類記号 |
530
|
| 著者紹介 |
1949年宮城県生まれ。東北大学原子分子材料科学高等研究機構教授。工学博士。 1967年北海道生まれ。東北大学大学院工学研究科教授(機械システムデザイン工学専攻)。工学博士。 |
| 内容紹介 |
最先端技術MEMS(微小電気機械システム)の世界的権威である著者が、これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、MEMSの今後の開発促進や有効利用について解説する。「はじめてのMEMS」の続編。 |
目次
内容細目
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