蔵書情報
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書誌情報サマリ
| 書名 |
ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用
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| 著者名 |
表面技術協会/編
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| 出版者 |
コロナ社
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| 出版年月 |
2016.12 |
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
| No. |
所蔵館 |
配架場所 |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
帯出区分 |
状態 |
所蔵棚番号 |
AJ区分
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取込区分
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| 1 |
中央 | 2F技術産業 | 1024649988 | 図書 | 566.7// | | 在庫 | R34A,R41 | 一般書(A) | |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトルコード |
1000014217301 |
| 書誌種別 |
図書 |
| 書名 |
ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用 |
| 書名ヨミ |
ドライ プロセス ニ ヨル ヒョウメン ショリ ハクマク ケイセイ ノ オウヨウ |
| 著者名 |
表面技術協会/編
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| 出版者 |
コロナ社
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| 出版年月 |
2016.12 |
| ページ |
10,305p |
| 大きさ |
21cm |
| ISBN |
4-339-04650-2 |
| 分類記号 |
566.7
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| 内容紹介 |
「ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎」の応用編。真空技術からプロセスモニター、炭素系薄膜まで、研究現場や製造現場で基礎技術をベースに的確にドライプロセスが実施できるよう、工夫して解説する。 |
目次
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