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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
| No. |
所蔵館 |
配架場所 |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
帯出区分 |
状態 |
所蔵棚番号 |
AJ区分
|
取込区分
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| 1 |
中央 | 2F技術産業 | 1025413277 | 図書 | 566.7// | | 在庫 | R34A,R41 | 一般書(A) | |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトルコード |
1000014661962 |
| 書誌種別 |
図書 |
| 書名 |
ドライプロセス表面処理大全 (技術大全シリーズ) |
| 書名ヨミ |
ドライ プロセス ヒョウメン ショリ タイゼン |
| 叢書名 |
技術大全シリーズ
|
| 著者名 |
関東学院大学材料・表面工学研究所/編
|
| 出版者 |
日刊工業新聞社
|
| 出版年月 |
2019.3 |
| ページ |
285p |
| 大きさ |
21cm |
| ISBN |
4-526-07968-9 |
| 分類記号 |
566.7
|
| 内容紹介 |
真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、PVD、CVD、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。 |
目次
内容細目
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