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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
| No. |
所蔵館 |
配架場所 |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
帯出区分 |
状態 |
所蔵棚番号 |
AJ区分
|
取込区分
|
| 1 |
中央 | 2F技術産業 | 1025609338 | 図書 | 549.9// | | 在庫 | R33B,R41 | 一般書(A) | |
| 2 |
城東 | | 6611328771 | 図書 | 549.9// | | 貸出中 | 16A | 一般書(A) | |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトルコード |
1000014786126 |
| 書誌種別 |
図書 |
| 書名 |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み (図解入門) |
| 書名ヨミ |
ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ |
| 副書名 |
ファブから検査まで製造装置を俯瞰する 製造技術の神髄 |
| 副書名ヨミ |
ファブ カラ ケンサ マデ セイゾウ ソウチ オ フカン スル セイゾウ ギジュツ ノ シンズイ |
| 叢書名 |
図解入門
|
| 叢書名 |
Visual Guide Book
|
| 著者名 |
佐藤 淳一/著
|
| 出版者 |
秀和システム
|
| 出版年月 |
2019.12 |
| ページ |
261p |
| 大きさ |
21cm |
| ISBN |
4-7980-6037-8 |
| 分類記号 |
549.8
|
| 著者紹介 |
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。 |
| 内容紹介 |
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。 |
目次
内容細目
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