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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 |
配架場所 |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
帯出区分 |
状態 |
所蔵棚番号 |
AJ区分
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取込区分
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在架
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1 |
中央 | 書庫資料 | 1011154232 | 図書 | 549.1//1993 | | 在庫 | | 一般書(A) | |
○ |
関連資料
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1000000325640 |
書誌種別 |
図書 |
書名 |
VLSIプロセス技術 |
書名ヨミ |
ヴイエルエスアイ プロセス ギジュツ |
副書名 |
高歩留りのための問題点とその解決 |
副書名ヨミ |
コウブドマリ ノ タメ ノ モンダイテン ト ソノ カイケツ |
著者名 |
小林 稔/著
中島 蕃/著
垂井 康夫/監修
|
著者名ヨミ |
|
出版者 |
日刊工業新聞社
|
出版年月 |
1993.6 |
ページ |
143,2p |
大きさ |
22cm |
ISBN |
4-526-03338-3 |
分類記号 |
549.7
|
内容紹介 |
半導体技術は、IC、LSIを経てVLSI、ULSIの世代に入った。このLSI技術について、プロセス開発途上でどんな問題点が発生し、どのように解決されてきたかについてまとめる。 |
目次
内容細目
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