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資料情報
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No. |
所蔵館 |
配架場所 |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
帯出区分 |
状態 |
所蔵棚番号 |
AJ区分
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取込区分
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在架
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1 |
中央 | 書庫資料 | 1013661960 | 図書 | 549.1//1996 | | 在庫 | | 一般書(A) | |
○ |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1000000566366 |
書誌種別 |
図書 |
書名 |
フォトマスク技術のはなし |
書名ヨミ |
フォトマスク ギジュツ ノ ハナシ |
副書名 |
超LSI、液晶、プリント板を支える |
副書名ヨミ |
チョウエルエスアイ エキショウ プリントバン オ ササエル |
著者名 |
田辺 功/[ほか]共著
|
出版者 |
工業調査会
|
出版年月 |
1996.8 |
ページ |
262p |
大きさ |
21cm |
ISBN |
4-7693-1149-4 |
分類記号 |
549.7
|
内容紹介 |
フォトマスクは透明なガラス板の上に電子回路のパターンを光を通さない材料で形成した部品である。LSIなどの生産に欠かせないこの技術を紹介する。 |
目次
内容細目
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