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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 |
配架場所 |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
帯出区分 |
状態 |
所蔵棚番号 |
AJ区分
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取込区分
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在架
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1 |
中央 | 書庫資料 | 1017516947 | 図書 | 549.1//2003 | | 在庫 | | 一般書(A) | |
○ |
関連資料
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1000010556901 |
書誌種別 |
図書 |
書名 |
はじめての半導体リソグラフィ技術 (ビギナーズブックス) |
書名ヨミ |
ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ |
叢書名 |
ビギナーズブックス
|
著者名 |
岡崎 信次/著
鈴木 章義/著
上野 巧/著
|
著者名ヨミ |
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出版者 |
工業調査会
|
出版年月 |
2003.6 |
ページ |
305p |
大きさ |
21cm |
ISBN |
4-7693-1224-5 |
分類記号 |
549.7
|
内容紹介 |
光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べるとともに、パターン形成に重要なマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる。変遷の激しいリソグラフィ技術の全貌を解説した入門書。 |
目次
内容細目
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