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資料情報
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No. |
所蔵館 |
配架場所 |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
帯出区分 |
状態 |
所蔵棚番号 |
AJ区分
|
取込区分
|
在架
|
1 |
中央 | 書庫資料 | 1017719509 | 図書 | 427//2003 | | 在庫 | | 一般書(A) | |
○ |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1000010611708 |
書誌種別 |
図書 |
書名 |
マイクロ波プラズマの技術 |
書名ヨミ |
マイクロハ プラズマ ノ ギジュツ |
著者名 |
電気学会・マイクロ波プラズマ調査専門委員会/編
|
出版者 |
オーム社
|
出版年月 |
2003.9 |
ページ |
257p |
大きさ |
22cm |
ISBN |
4-274-19710-7 |
分類記号 |
427.6
|
内容紹介 |
マイクロ波帯のプラズマ生成と制御の技術を基礎から解説するとともに、各種応用のための技術や事例を具体的に解説。平成12年から2年間「マイクロ波プラズマ調査専門委員会」で行なわれた調査の結果を系統的に整理する。 |
目次
内容細目
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