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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 |
配架場所 |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
帯出区分 |
状態 |
所蔵棚番号 |
AJ区分
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取込区分
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在架
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1 |
中央 | 2F技術産業 | 1022627887 | 図書 | 549.9// | | 在庫 | R33B,R41 | 一般書(A) | |
○ |
関連資料
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近藤 英一 上野 和良 内田 寛 曽根 正人 生津 英夫 服部 毅 堀 照夫 森口 誠
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1000012584467 |
書誌種別 |
図書 |
書名 |
半導体・MEMSのための超臨界流体 |
書名ヨミ |
ハンドウタイ メムス ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ |
著者名 |
近藤 英一/編著
上野 和良/共著
内田 寛/共著
曽根 正人/共著
生津 英夫/共著
服部 毅/共著
堀 照夫/共著
森口 誠/共著
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著者名ヨミ |
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出版者 |
コロナ社
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出版年月 |
2012.9 |
ページ |
7,227p |
大きさ |
21cm |
ISBN |
4-339-00837-1 |
分類記号 |
549.8
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著者紹介 |
早稲田大学大学院博士前期課程修了(資源および金属工学専攻)。川崎製鐵ハイテク研究所主任研究員、IMECエキスパート研究員などを経て、山梨大学教授。 |
内容紹介 |
気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体の新しい応用の切り口を提供するテキスト。半導体・MEMSの製造プロセスと、乾燥、洗浄、堆積などの基本的なプロセスについて丁寧に解説する。 |
目次
内容細目
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