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資料情報
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No. |
所蔵館 |
配架場所 |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
帯出区分 |
状態 |
所蔵棚番号 |
AJ区分
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取込区分
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在架
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1 |
中央 | 2F技術産業 | 1024647206 | 図書 | 549.9// | | 在庫 | R33B,R41 | 一般書(A) | |
○ |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1000014215067 |
書誌種別 |
図書 |
書名 |
薄膜工学 |
書名ヨミ |
ハクマク コウガク |
著者名 |
日本学術振興会薄膜第131委員会/編集企画
金原 粲/監修
吉田 貞史/編著
近藤 高志/編著
|
著者名ヨミ |
|
出版者 |
丸善出版
|
出版年月 |
2016.11 |
ページ |
10,302p |
大きさ |
21cm |
ISBN |
4-621-30098-5 |
分類記号 |
549.8
|
内容紹介 |
薄膜分野に携わる研究者・技術者に最適な、基本技術の解説書。薄膜工学の基礎から、薄膜作製法、評価法、薄膜の機能と応用までをまとめる。近年広がりをみせる薄膜技術に対応するため、大幅な改訂を行った第3版。 |
目次
内容細目
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